美国CONSARC、Retech及其它坩埚系列:

  该坩埚系列法兰为钢材料,钢法兰导电环为铜的镶嵌焊接,钢底盘与坩埚的连接方式不同于ALD结构。

  已经制造的最大坩埚规格尺寸:

  筒身:Φ1060(内径)×Φ1120(外径)×4525mm(总长)

  法兰:Φ15250mm外径)×88mm(厚)

  已具备制造最大坩埚规格尺寸的能力:

  筒身:Φ1300(内径)×Φ1360(外径)×4225mm(总长)

  法兰:Φ1820mm外径)×100mm(厚)