· 现今结晶器铜材料的选用在国内外真空冶炼及电渣炉重熔精炼领域愈加引起制造商和用户的关注和重视。选择一种合适的材料对结晶器本体(铜坩埚)以及辅件(铜底垫、电极推杆等)部件产品的安全性、稳定性以及服役时间有着重要意义。
· 结晶器铜坩埚大多选用T2、TP2、TU2等传统的纯铜材料(GB5231-85),在国际同类设备产品市场上,有着代表性、规模性的德国ALD公司、美国CONSARC公司、奥地利INTECO公司大多选用的坩埚材料也分别与国内上述材料对应。
· “BJYZ”公司通过多年的努力,已经研发出新的铜合金坩埚材料:
特殊高级坩埚材料:QB-YZ0801标准,相当于德国ACM1(Cu-Ni)含镍合金铜,用于坩埚筒体。
高级坩埚铜底垫材料:QB-YZ0802标准、相当于德国ELBRODR (Cr-Zr)含铬、锆合金铜,现在用于高级铜底垫。
· BJYZ公司用于坩埚的铜材料性能及主要对比参数
相关数据按照坩埚服役环境所需要的物理特性选择:
材
料
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温度
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单位
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德国标准
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(SF-Cu)含P0.03%
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SH-Cu)含P0.004%
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ACM1
KME标准
(Cu-Ni)
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ELBRODR
KME标准
Cu((Cr-Zr)
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备注
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中标准国
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磷脱氧铜TP2
含P0.013~0.05%
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无氧铜TU2含磷0.002%
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BJYZ标准
QB-YZ0801
用于高性能坩埚
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BJYZ标准
QB-YZ0801
(用于铜底垫)
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再结晶温度
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℃
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350
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250
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500
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700
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ACM1材料的热稳定性明显高
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热传导系数
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℃
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10-6/K
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17.7
|
17.7
|
17.5
|
18
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传导性能相似
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弹性
模数
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20℃
|
GPa
|
|
120
|
120
|
125
|
128
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ACM1材料
性能略高
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0.2%保证强度R0.2
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20℃
|
MPa
|
|
50
|
50
|
70
|
270
|
ACM1材料
强度随温度升高的衰减明显减少
ELBRODR材料衰减更微小
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200℃
|
|
40
|
40
|
60
|
255
|
350℃
|
|
(30)
|
(30)
|
55
|
230
|
500℃
|
|
(20)
|
(20)
|
50
|
(200)
|
抗拉
强度
Rm
|
20℃
|
MPa
|
|
210
|
210
|
220
|
390
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ACM1材料常温下略高,而在350~500℃时其强度要高达29.4~35.7%。而后者的物理特性正是坩埚服役环境所需要的。
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200℃
|
|
170
|
170
|
200
|
340
|
350℃
|
|
(120)
|
(120)
|
170
|
290
|
500℃
|
|
(90)
|
(90)
|
(140)
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(230)
|
布氏
硬度
|
20℃
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2.5/
62.5
|
|
50
|
50
|
55
|
125
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备注:1.上述数据会因结构和加工工序的变化而有所改变。
2.测量标准:DIN ISO 5182
3.上述数据参考KME资料